【扫瞄式光热显微镜研究】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸P1 摘 要 本文以光热偏转光谱术为基础,研究和设计 了可检测样品吸收率分布的扫描式光热显微镜及 实验装置。用IBM一PC计称机及相应的软硬件接口技术,实现了对样品吸收率信号的实时处理。采 用人机对话的方式输入测试选择参,用计补机 幕的三维立体图形直观地显示出样品的吸收率 分布图,并用打印机输出该图形及测量结果。基 本实现了对样品吸收率分布测量的自动化和实时 化。为了提高测量的准确性,研究和设计了计标 几闭环控制采样系统,使总的测量误差小于23名.开究了影响系统检测灵敏度的因素,来取了必要 勺抑制措施,获得了α=2x106的最小检测量。
浙江大学研究生学位论文用纸P.Ⅱ 目 東录 一.引言 二.扫描式光热显微镜的发展况 三扫描式光热显微镜的工作理 3一1温度分布-了一2光束的偏转 了一了光热位号的检测与定标 四.扫描式光热显微镜的设计与实验研究-19 4-1实验装置 -19 4一2实时位号处理的计机软硬件系统 1AD采样接口电路及软件-25 2)驱动步进马达接口电路及软件.一33 4一了闭环控制采样系统设计.-38 多4一4主0 1>捡测灵敏度 2)测量精度.
浙江大学研究生学位论文用纸P.IV 符号与意义 中:探测光偏转角(rad) Ti:相对环境温度的温升(°K) 下标i:样品的区域(O;空气:M:落膜.b:基板)i:热传寻率(w/cm.°k) a:热散率(cm²/s)(k/p:c):密度(9/cm²) Ci: 比热(J/.°K)(Cp:定压热吞量) Q: 吸收而致的热(丁) M:w:斩光频率(ra/s) β: 热波波(cn-)(²=+i) 热波作汉克变换的空间频率(Cm) 六质吸收率(α) A:di: 介质吸收系(Cm-) 品吸收长度(m) 1: 泵浦光強(W) Wp: 泵浦光束腰半径(mm) W: 探测光未腰半经(mm)