【辉光放电a-SiH薄膜和μc-SiH薄膜微观结构和沉积机制研究】.pdf
目录 摘要 第一幸 绪论 aSi=H和MSi:H薄膜红光谱研究械过 1!a-SiH薄膜ESR研完概述 1 a-Si=H薄膜表u-S:H薄膜微!欢结拘研 究 概述 a-Si=H薄膜和MC-S=H薄膜TEM和nHREM研究概述 军:光放电功率对a一SH薄膜沉积;的影 S 辉光放电沉和机制 1 研究目 1 第:一章实验原理 2.二极射频辉光议电装置辉光等离子特性 2.
5.HREMa究讨论和aSiH、-Si:H薄膜 沉积机制 5.MC一Si:H薄膜微晶生长论 第幸aSiH薄膜和M-SiH薄膜电学刚量 和XP:S分析 6.a-SiH薄膜u-SiH薄膜学测量和 讲论 6
粒,这些颗粒是S1,SiH:SiH,基团聚合物。低浓度硅烷低 功率沉积a一S1:H薄膜,低浓度硅烷高功率(6oW)沉积uc-Si:H 薄膜,其中微晶结构有S1S1,S1三种.HREM研究结吴发现.低浓度硅烷低功率(5W)沉积a一Si:H 薄膜由3一15个S1原子链形成的无规网络,在极少数地方发现 10A微晶结构,微晶体积比小于1。在40W功率沉积aSi:H 薄膜中。发现大量30-50A微晶,以及由3-15个Si原子无序 排列的网络.