【氮化硅烧结炉微机控制系统】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸P.论文摘要 本介话了氣化硅梵传过秒微机控制永统的设计思想 和条统构成,详[旧分析]硬件各部分电路的2作原阻,特别 对尔统的可靠性问起作专门的讨论,提出了一种掉必教 据护和永统自初变住的方法。本文还对常用于過控统 的几种控制算法进行了分析比段,讨论小统轻件设计 思想,最后指出了永统运行果.本尔统来用APPleI作为控制,具有控制精度高、同靠 性好、价格低廉等特点。
浙江大学研究生学位论文用纸 P.I 目录 第一章系统总体结构 1-1设计意义和要求 1-2统总体结构 1-3统中断结构 1-4键盘中断 1-53.统时钟 第二章渔度信号的检浏与转换 52-1热它偶的冷端补偿 2-2渔度信号的放大 2-3温度信号的A/转换 2-4渔度信号检浏的误差估计 2-5温度信号线性化 第三章电压电流傲量氧微董水信号检测 3-1电后电流信号的检浏方法 了一2來样速幸对软件整流法的精度影向 3-3A/D转换器的选样 3-4AD570与APpleI的接口3-5检微氧微水的传感器介治 3-6电磁阀控制
浙江大学研究生学位论文用纸 P 参考文献 致谢