[非晶硅薄膜的沉积及其作LCLV光电导层的研究]

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浙江大学研究生学位论文用纸P.非晶硅薄膜及其作LcLV 光电孕层的研究浙江大学研究生学位论文用纸 P.J §25 光学显微鏡及扫描电镜光暗电导的測量 52-7 光暗电容的測量 液晶盒的制备及性能测定 第二章 a—S:H薄膜的研究 a一S:H薄膜沉积机制的研究 S31 引言 3 红外分析结果 a-S:H薄膜沉积机制的讨论 3 a-S:H 薄膜光电性能的研究 3:1 引言 3-?实验结果与讨论 了了 a-S:H 薄膜电容特性的研究 Go 3 引言 3 交流频率对a-S:H 薄膜电容 的影响 3 光照对a-S:H薄膜电容的影响 3 衬底温度对 a-S:H 薄膜介电常 数的影响 53.浙江大学研究生学位论文用纸P.亚 Abstract A general information about the structures,optical and electrical properties,preparation technology of a-Si:H films havebeen reviewed.Accordingtotheeffectsofdifferentiepositionconditions onthecompositionsandopto-electricalpropertiesof deposited a-Si:H films,a new model of