【二对电极倒△β结构定向耦合型光调制器开关的研制】.pdf

ABSTRACT This paper can be divided into three sections.The first is ashortreviewonthecurrentTi:LiNbOswaveguide devices.Ananalyses of operation ofsingle-mode optical directional coupler modulators/switches of stepped4βtype is presented.

Ⅲ 摘要在LiNbO衬底上制作下扩足向耦合器,通过电光效应安现开关功能,具有串音小、开关速度快和易于与光纤耦合且耦合致率高等特点,在光纤通信和光交换技术中有重要的应用价值.本文在分析定向耦合型光凋制/开天器原理的基磁上,计了两对电极倒的结构的足向合光调制/开无露。在器件的制作上,改进了拾离工艺,别作了高质量的尺寸为5从m宽、4μm间距、1mm长的下定向耦合波导图形,这一技术同样适用于集成光学的电极制作上,同时在下扩散过程中有效地抑别了L2C反扩散波导的形成,这一关键问题的解决,为制作名类下波守件提供了可靠的保证,并且已经成功地制作了性能优良的沟波导及分波守,同时制得

第一章引言自么天十年代激光器的发展第一次提传了稳足酌相干光源以来,由光束而不是由电流或无线电波加载信号的传输和处理,已经成了极有价值与使人感只趣的课题。当时,光未是遍过空气传播的,皿需要将其光学无件(如棱镜透镜等,装在长达数米的防震台上,这种系流在实验条件下是允许的,但实际在用的放果却因受到大气的变化、振动等因素的影响而很不理想,在六十年代后期云现了集戏光学.集成光学系统传送的信号的载波是光守波,系统的连接通过光纤和波导,念统的元件是光波守元件:系统色括光的发生、耦合、开关、分路、偏转、扩束、准直、聚焦、调制、放大、探测和参量的相互作用进程、能获得信息处理的各种功