【光电位置敏感传感器研究】.pdf

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光电位置敏感传感器的研究 郑书马 导师:谭祖根教授 钱霞副教授 一九八九十一ABSTRACT Position sensitive Detector(PsD),as a new photoelectric For psDs aotual use as soon as possible,in this issue a newsensorthat canmeasure surface displacement and inc lination at the same time is designedwith light emitting diode(LED) for light source and pSD for sensitivedevice.第五章传感器检测电路的设计 5一1低声前置放大电路的设亡 5-2运算电路的设计一3带通波嚣的设计 h 5-4锁定放大器的设计 5-4-1同步积分器-4-2参芳通道-4-3相关器的设计-5低通波器的设计 5一6系统电源的设计 5-7测量系统的抗千扰措施 82 第云章传感器的标定及误羌分析一1传感器的标定 G-1-1被测面的要求-1-2 实验结果.,Ob 36-2误差分析及改进方案,/03 结束语 致谢/06 参考文献.