[大功率光导开关的研制与测试]

【大功率光导开关的研制与测试】.pdf浙江大学研究生学位论文用纸P.ABSTRACT Photoconductor power switchhasreceivedconsider-ableattentionrecentlybecauseofitscharactersof high speed,high voltage and high power.Anoverviewofthebasicprincipleandfabrication techniqueismade.Byimprovingthefabrication:tech-ingthelaser induceddoping,aswitchwithgoodohm cont浙江大学研究生学位论文用纸P.目录 第一章 综述 1-12 第二章本理-29 乡1 光追导民理-19 金屋与半导体接触理论 19.-25 S3 光导开关理 25-29 第三章 选题依据 30.31 第皿章 激光诱导掺杂和电极欧妞接触 做+ree 掺杂理.34 激光诱导掺來的溫升特止与计算 34-35 激光透导掺杂的参选择和揚杂 工艺特点 35-38 始电阻率的测号 38.42 掺杂备材料及工艺流程42-47 第五章大功率光导开关的设汁与制做浙江大学研究生学位论文用纸P.第一章综述 光导开关是一种利用高能男密度光,在高阻 或半绝缘状态半导体中产生光电导来作为开关 理的开关皿件.目的是利用光的投术来实现 电的高速技术,它是随着激光高强度光流的实 用化技术指标不断提高,材料工世特是半导 体光敏材料的飞速发已而发尸起来的一种新型 皿件 电开关的发尽经历了机械开关,油开关,真 空开关,传,随着半导体材料工世的发尸,产生 了固体开关业件,最有带表性的是有P一N结,mP一N结来承受开关也压.的半导体开关,例如 三极管,其开关速可以做得很高,价格便宣,实 现了开关控制和开关也压的电隔离。
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