【光学表面疵病自动检测的扫瞄控制与信号处理】.pdf

浙江大学研究生学位论文用纸P.摘要第一章:表面痴疡标准及检则的发展近况.第二章:几种主要结似分析及方案的确定节章.打描频谱分折法的基幸理论一.频语分析法的原理.二.控制结及孵结 1.总体考虑 2.控制的近似及误差 3.接收信及痴病大小关的近似若章:实与统一.机械及光学部珍 1.机械结构及设计 2.光学心统的设计二.控制及接此电结的设计与调试 1.控制电络 2.

浙江大学研究生学位论文用纸P 摘要光学统的量很大控疲口依颜于光学零伴的堂,在影怕学零件质量的诸多因素中,其中较如重要的是然表面痴病为了够够控制光学表面的质量,来幸的先决条件是知边光学表面的实猛性忱,即检侧光学表面痴病.他统的检则光学表面质量的方结是用肉眼在暗背景下观察光学表面,做计其大小,比扔结直玉现在还广泛地时光学制运理领城,但此分结是有了了可支服的限制.生理限制—射此结需豆全神贯注,用眼极易疲芳,椎路人负了可能工作较长时间.主见性跟制—核路人员,使他很有格室,也思免及了遗漏和对痴病的大小有珍准确的做计,此种体计同人响易。

浙江大学研究生学位论文用纸 P5 ARSTRACT The quality of an cpticsl systen.dapends tc.a large e.tent thie quaity ofoptical componarts.One o t most importa facto amcng variousfactors which affect the oetical conponn i= optical surface flews.