【实时干涉图分析仪】.pdf

浙江大学研究生学位论文用纸P.o1 摘要本文介绍了一种实用的干涉图处理技术,并利用这种技术设计出了实时干涉图分析仪.该仪器充分利用了计亦机的性能和特点,硬件部分结构简单,2 作后理巧妙;软件部分运弱速度快(1之内),运碰结果准确可信(运弱误差低于 M80),由摄象机、插件极和计诱机软硬件细成的实时干涉图分析仪,精度满足大多数这用伤合,较适合作为光学事问的常规测试仪器.利用峰检原理对条改中心进行检洲,检测结果是数字量,方便了接口的没计和数据的采集。由叶弱机内部获取来样定时信号,利用计弱机扩展槽和电流进行口作,这是本仪器的另外两个特点。

浙江大学研究生学位论文用纸F 目录第一章概述节一节干涉条纹处理技术概况节二节简介实时干涉图分析仪第二章实时干涉图分析仪夜件系统节一节硬件系统介绍节二节分析各主要电路的电路结构及2作瓦埋节节插件板第三章实时干涉图分析仪软件处哩系统苏一节采样汇编言的连接第四章精度考核节一节运弱参数的精度考核节二节波面拟合的精度考核芳三节各种象差的影响情况 6o 芳四节便件精度的理论分析芳五节总体精度第五章结论致谢参考交献

浙江大学研究生学位论文用纸上2 节一节.干涉条纹处埋技术概况早在七十平代初期,外国就有了对干涉图进行实时化处理的报道。1974年,美国成功地研判出数字波面干涉仪,使得这方面细 2作从理论研究进入了实际运用。1979 年1980年,又相继出现了锁相干涉仪和数字化实时外差干涉仪,我国也在几年前研判出激光波面干涉仪。由于这一类仪器的处狸方法己超于成熟,因而,这一时期以来没有太大细发展。这类仪器的之作特点是,通过对特定干涉仪的凋制使得接收到的光强信息有规律地变化,通过一定量细计弱从中求出位相仗息,并由此获得波面及对应参数。