【干涉共模抑制技术及其在表面轮廓测量中的应用研究】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸P.摘 要 涉汁量技术,旨死克服激光振幅声及外界干扰又对 量结果的影响,便干涉汁量仪四能够走击汁量室,召向生产实践.用干涉芒模抑到柔洗的轮廊仪是投术的一个应 用。这种轮廓仪无需参考样极,无需转密导轼,结构简单,成本低,可以在一般的环境柔件下对超精 表召作非接白出轮廊洲量,且具有很高的灵敏放,及训 量精疫。理论义,轮廊仪的纵向分判半率可达1A,慢向分辨率为/.2 um.本论迷了该种午涉共操抑别轮廊仪的光.机.电、于 各部分的有关问题,建之了整套害验装置,并对试样 表召轮廊更纤了实测。
浙江大学研究生学位论文用纸 P 目录 一.前言 二.表已轮廊的基本概念及主要种断量治 sx起我廊的表征.S.表抢廓的主要儿种测量后法 二 三.干涉共模抑制技术的概念及持 531干涉体素的共操抑别 了3干涉信号处理的共模抑制 四.手用干涉共模抑别的表轮廊叫量仪 S4轮廊仪学系统 s4.老信子后最及之电信应量的保记 54了对激老口的要求 张4洲量范国及其展宽 S45参老老李宽皮的确定及轮廊仪横向分率幸 46老电转控及的大电路 547工作点的确空 -45 三信号处理 S5信号激析 -49 s滤波电路 六.
浙大学开究生学学 一、前言 随着科学投术的进步发展,人们愈事愈请楚她意识 到,载召相糙皮的测量和表口统汁特性的确定对许多 应用强成是非书重要的。例如,此机四和仪四别造工也,表 召相糙技与机械另件的耐磨性.收劳强发,接能刚度,配 分性后,密针性,篇蚀性当均有密切关系,另件表已视糙 度的大小直接影响机四.仪四的使用性能和寿命,在光学仪四行 生、走学另件表召的相超皮令产生散身走和表已吸收而影响 成雾定量,大功率激光四谐振胜的镜五视糙皮分手致高 反膜层的是坏;在电子技术中,等膜走电四件及大规模集 成电路的稳宝性和可靠性化很大垃皮上取决于这些另件 基比表己的走话程皮,而对带,弦鼓,碰越这些汁手于 机外围