[利用散射板干涉仪实现非球面零测试]

【利用散射板干涉仪实现非球面零测试】.pdf摘要 利用散射枝干涉仪测试帅城面走血年来莉散射 板干涉心间拓的彩用途.通过加大散射板的通之D 信,们回敬羽故上要物点产生的付加程差去和 修理想帅球而与理想球西之间的间隙,从而实沉 对所有二次帅球已的答住检沉.这种方左不改变散 射投干涉纹的共经转烂,一块散射板多种用途 信构更加荷重、使用定加方便,本文育气对泌试 方法的原理进片了分折研究,用计算机模拟运 寻来这择最佳的小孔方信和以孔直里心及方结原理 误差了许.描述这树子完与鲁迫散身板干涉伐 子院的区别.其次更浮入地对制板一艺.特别是大 D任微身故的制约二关世片了研充和实升.每次.浙江大学研究生学位论文用纸 P 目录 第一章引言 非球面测试涂迷 一 散射板干涉伐 三.敬射板干涉仪池试非球面沉状 四.本文内容 二 第章 云法原理 提要 一.二次非球西 二.散射板通光D径的形响 三.方法的提出及理论 四.睡窗分析 五.时加收获 一.偏精球面零测成的实现 第三章 系完的设置 捉要 一.小孔口径分析 二.小孔位置的确定 三.计算机模拟实验 四.浙江大学研究生学位论文用纸P.第一章引言 一.非球面测试综述 由於非球面光学件具有伏良的满像差先骨特性,能幅度提高先学子统的图像质量,改善老学子统 的性能,减心光学子流的外形尺寸和重量,降低或本弃能 满是某些特殊光学余统的需求,对先学依如的发屈起着 重要的作用,因而越来越受到人们的重执,光导子统 非球面化己作不断取内进层,并得到了了泛的在用.因以 有效地加之和测成非球万立件已成为回内外先学界的 言要研充课题之一.近年来.在非球面测试方面,回 内外已做了大习的研光.[2)提出许多此球面之件的 测试方弃.非球而测成大致可分为点测法和图以测 成法两卖.
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