【利用散射板干涉仪实现非球面零测试】.pdf

摘要利用散射枝干涉仪测试帅城面走血年来莉散射板干涉心间拓的彩用途.通过加大散射板的通之D 信,们回敬羽故上要物点产生的付加程差去和修理想帅球而与理想球西之间的间隙,从而实沉对所有二次帅球已的答住检沉.这种方左不改变散射投干涉纹的共经转烂,一块散射板多种用途信构更加荷重、使用定加方便,本文育气对泌试方法的原理进片了分折研究,用计算机模拟运寻来这择最佳的小孔方信和以孔直里心及方结原理误差了许.描述这树子完与鲁迫散身板干涉伐子院的区别.其次更浮入地对制板一艺.特别是大 D任微身故的制约二关世片了研充和实升.每次.

浙江大学研究生学位论文用纸 P 目录第一章引言非球面测试涂迷一散射板干涉伐三.敬射板干涉仪池试非球面沉状四.本文内容二第章云法原理提要一.二次非球西二.散射板通光D径的形响三.方法的提出及理论四.睡窗分析五.时加收获一.偏精球面零测成的实现第三章系完的设置捉要一.小孔口径分析二.小孔位置的确定三.计算机模拟实验四.

浙江大学研究生学位论文用纸P.第一章引言一.非球面测试综述由於非球面光学件具有伏良的满像差先骨特性,能幅度提高先学子统的图像质量,改善老学子统的性能,减心光学子流的外形尺寸和重量,降低或本弃能满是某些特殊光学余统的需求,对先学依如的发屈起着重要的作用,因而越来越受到人们的重执,光导子统非球面化己作不断取内进层,并得到了了泛的在用.因以有效地加之和测成非球万立件已成为回内外先学界的言要研充课题之一.近年来.在非球面测试方面,回内外已做了大习的研光.[2)提出许多此球面之件的测试方弃.非球而测成大致可分为点测法和图以测成法两卖.