【微氮直拉硅单晶热处理-电学性能与氧碳氮行为的研究】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸P.本论文针对减孔充氮c2-S:单品,以多之 样品的红外分析及电学性能测试为依括,析了[O].[C].[N]组态,热处理溫发、时 间及子案等因素对微氨单品电学性能的 影响。发现热施主应与常想单品一致; 新施主效应微弱甚至不出现,目爱到原始 跌含量的抑制品消促进;700./250℃短 时间退火均发现新的爱主态,在低温易 消失,高浮较稳定,旧小℃密世最高;受 主态与[N-O]复合体有关,爱到2炭的抑制]; 高温预退么对低溫受主态有抑制和稳 定作用;[C]、[N]均高的单品油阻率稳 定性差,表现于n-S;800℃P-S:700°℃的 热处理过程;各种发合体的相互补偿、抑
[1] [7] [7] [15] [17] [22] [23] [24] [30] [3D] [31] [33] [34] [37] [38] [42] [49] [85] [89] [90] [96] 浙江大学研究生学位论文用纸 录 51.热施主研宪历史及有关模型 2.杂质殊,氢对热主放应的影三口响 3.近年来的研究及一些结果 1.新强主与建中的沉淀态 1.关于氮与建品格的结合方式 32.建中氮的扩散,迁聚与沉淀 3.氮与其他杂质的关系 第四章微氮单晶热处理一学胜能实验 2.有关抽施主的实验及讨论 3℃以上热处理行为 目 第一章热施主研究概览 第二章新施主研究概算 2.
2(n型)(P型)[4](VLSL)[4](实升注0rm 一般g150 ±0 mm[1] 米年日本各材料 己多没音的必8”.200mm) G.100Kg [3] 5.25ppma(LSI) 一般<03ppma(各种李质、缺险态具伴要求) 國外先刻生产2ym .例1:日本—1M.DRAM1.1μm 70mm²(60年代4mm²) 浙江大学研究生学位论文用纸<6.10 <.6 均匀可控(或 5.[wshop_paid show_buy_btn="true"]