[微氮直拉硅单晶中氧沉淀及氧碳氮杂质的研究]

【微氮直拉硅单晶中氧沉淀及氧碳氮杂质的研究】.pdf微葵直拉硅单晶中沉淀和靠 碾葵杂质的研究 一郑建国、赵松宏、王建、王燕、朱爱昂、罗剂 华、陈晓明等同志的热情帮助,在此一并致谢 作者逐安感谢校分拆测试中心的因晓霞高 2、王甫高2、杨柳、唐晓明、袁明永、石 刘清 明考、樽等老师,凡多军的实验中,他们经 常提然热情的帮助和有益的意是,使实验得到 顺利免成:和王动文老师的愉快合作使缕电 高分辨 镜分柳之作得以较好免成,他精湛的电镜技术 和一沙子苟的2你态使我软佩.最后,作者安感谢爱妻赵英场女土私我们 双方的必母,他们一往情涂的爱意和真诫无私 的奉献,是作者免成此了的支柱,之也是给我 即将出世歌子的礼物!对应着两种不稳定的硅葵复会体过他相,在 敲体尾部高窦处么现,玲0以上退只逐渐情 央;而1 C吸收峰则对应稳定的硅察氧复合 仅红现充 头后,便迅速现,可能法物方SNO。本 中的弯什,以及两者间的关忌进了洋太的研究,指出微雾硅单晶中幸沉淀黄主安取决子华浓 对间際 是然温唐与时间,磺杂质的子低温退火时率 的消失 凝个促连作用,而不影响中高温退火时的晕 沉淀;其中碾质浓于民中低温退头时随时间 溅长而成少,高温退火时,磷浓唐变,碾杂 质而以成方沉促接心继迷形移,但的明对开 率沉使表而而不影响生长;鬓杂质无不同温唐 退头以不闪的退率活失,形成了和子m一吸收 蜂相对尽的建率复会体稳定相,而不影响晕 沉淀的
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