[逆导门极可关断晶闸管RCGTO的研究]

【逆导门极可关断晶闸管RCGTO的研究】.pdf浙江大学研究生学位论文用纸P.摘 要 当GTO应用于逆变器和新波器中时,往往需要在GT0两端反并联一 快速二极管,采用RCGTO不仅可使装置体积减小,成本降低,可靠 性提高,而且还可消除GT0和二极管之间的引线电感,提高工作频 率.研制RCGTO的关键是在满足GTO和快速二极管特性的同时使两者 相互隔离地集成于同一硅片内.考虑到阴极电极压接应力的分散及单元特性的均匀性,设计了 适合于RCGTO工作的阴极图形和平面门、阴极电极压接结构.采用一维计算机数值模型分析了垂直设计参数对器件特性的影 响,尤其是?浙江大学研究生学位论文用纸 P Toavoidegatecurrentflowingtodiodeareaandthe undesirableGTOtriggeringbyexcesscarriersflowedfrom the diode section,an enough eletricalisolatingarea is required.Thebasicmethodtoraisetheisolation efficientisthechemicaletchinggrooving.浙江大学研究生学位论文用纸 S3 anpn,apnp设计.3 Cpj设计.n基区设计S4 反关二极管设计RCGTO制造工艺S5 扩散工艺.5.一扩P型杂质5 二扩P型杂质S5 双面扩n型杂质化学腐蚀挖沟工艺寿命控制§7 小结参考文献第四章 RCGTO特性测试RCGTO动态特性测试系统RCGTO单元特性测试GTO单元开通特性测试
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