【微机械硅桥谐振式光纤传感器的研究】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸 ABSTR.ICT The micramechanical silicon bridge resonaat opie fiber Sensor is ahovel scnsor.in which,the silieon beam rCsonator has bean fabrieatedna single crystalsilicon kasher using antisolropie chenical elching,the cibration ofthatisopically exeitedand interrogated,the silicon beam r
浙江大学研究生学位论文用纸P 目录 节-章:绪论 节=章:硅桥加工I芒 52:硅的机械特性 82:微细加I技术 32:硅桥制造过程 节三章:硅桥借振机理与基频计标模型 33:弦的振动分析 33:课的振动分析 33:硅桥怕振的基频计标模型 §34:硅桥值摄机理分析 苹四章:硅桥内应力分析 341:薄膜内应力 54:硅桥加工过程对内应力的形响 543:硅桥内应力5基片温度曲线的计标 节五章:硅桥消振式宪纤传感系统 35:光纤传感系统用的光讶 55.
浙江大学研究生学位论文用纸1 苏一章:诸论 传感技术是构成息系统的关健单元.在白 动化,遥测遥控系统中是一项不可缺少的技术。它又是 集:电子技术、光声技术,位息技术、生物工程甘综合的 3技术.传感四种类很多,光纤传感技术是七十年代中期 才发尽起来的.最近2年走向实用化的一1门张型技术。它 的们世和应用是传感技术的一件大了.引起了世界各国 的了度重视。这是因为光纤传感四具有体积小、重易轻 敏感性强.扰电殖干扰.绝缘性好.无电性.频带宽 远距裔传输性能稳定可靠优矣,此外光纤传感四易 于与史纤系统联路,实现遥控遥测。因此、光纤传感四在 国防工生的制导和导航系统.机四人.遥控操作.