[膜厚监控仪的传感器]

【膜厚监控仪的传感器】.pdf浙江大学研究生学位论文用纸P.Abstract Thesensorofthefilm-thicknessmonitor has been developedinthisarticle.Itsmade miniaturizedand multi-functional.And its temperature -affectedfrequencyshiftismuch morelowered.With this,two measuring techniques-Microcomputer-Control Technique:(MCCT)andDigital-Control Display T浙江大学研究生学位论文用纸 P.四 第一章 一、概述 二.任务文完成情况 笨二章不失晶体传感欲的原理 及探头的没计 一.不火晶体传感微的不理 二,探头的没计 三,振荡电路的没汁 年三萃胰厚的数字检划方法 一,微机法 二、数控显示法 临测仪在溅射镀肤中的应用 及结果分析.S枪的简要私理 二.浙江大学研究生学位论文用纸P 面,对学膜厚度的临测成为必然.不英晶体厚监测仪现已广泛应用于光学镀腰 及半导体二业中的实时厚皮及,蒸发迷率的临测方面.当在晶体的两面加有电压时,由于其他电效应,在一定 求荡电路中可激励出它的某一频率的中振换式.如果在其表画沉积有一居物黄的话,将导秋它振泻频 率的改变。因此,人们把体求荡频率风物质的沉 积而改变的效应用来监测此时镀膜的厚度.下面将把国内外对监测仪的研究情况分别为加 以介绍。(一)国外情况:在以临测仪性能方面,主要是改善镀膜物质书质 量与频率的关系上。
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