【膜厚监控仪的传感器】.pdf

浙江大学研究生学位论文用纸P.Abstract Thesensorofthefilm-thicknessmonitor has been developedinthisarticle.Itsmade miniaturizedand multi-functional.And its temperature -affectedfrequencyshiftismuch morelowered.With this,two measuring techniques-Microcomputer-Control Technique:(MCCT)andDigital-Control Display T

浙江大学研究生学位论文用纸 P.四第一章一、概述二.任务文完成情况笨二章不失晶体传感欲的原理及探头的没计一.不火晶体传感微的不理二,探头的没计三,振荡电路的没汁年三萃胰厚的数字检划方法一,微机法二、数控显示法临测仪在溅射镀肤中的应用及结果分析.S枪的简要私理二.

浙江大学研究生学位论文用纸P 面,对学膜厚度的临测成为必然.不英晶体厚监测仪现已广泛应用于光学镀腰及半导体二业中的实时厚皮及,蒸发迷率的临测方面.当在晶体的两面加有电压时,由于其他电效应,在一定求荡电路中可激励出它的某一频率的中振换式.如果在其表画沉积有一居物黄的话,将导秋它振泻频率的改变。因此,人们把体求荡频率风物质的沉积而改变的效应用来监测此时镀膜的厚度.下面将把国内外对监测仪的研究情况分别为加以介绍。(一)国外情况:在以临测仪性能方面,主要是改善镀膜物质书质量与频率的关系上。