[声表面波温湿度传感器的研究]

【声表面波温湿度传感器的研究】.pdf浙江大学研究生学位论文用纸P.目录 第一章前言 第二章声表面波和声表面波传感器简介 多2声表面波 82声表面波传感器 第三章声表面波传感器的理论 83SAW延迟线型振荡器的设计.3SAW温度传感器:3SAW湿度传感器第四章声表面波传感器的研制 84SAW延迟线型振荡器的研制.84SAW温度传感器测试84SAW湿度传感器研制和测试结束语编后话参考文献浙江大学研究生学位论文用纸P.ABSTRACT Inceasing attention andinteresthavebeenrecently paidto the Surface Acoustic Wave(SAW) sensorbecause of the advantage compared with othersensor systems that are the frequency digital output,the inherent high sensitivity,resolution,stability,the good 1inearity,easy manufactur浙江大学研究生学位论文用纸1 传乏四。[1-32] 其中 sAW 压 力传悉四 己有部分 产品问世。丘几年,己有集成型SAW传悉四 出现,[33] 为 3 补 偿其 它参数的影响,现在 己有双通道结构 sAW 传悉四形式,且己将它 看,其时间常数最小为 0,误差最小为以.而1 年 法 1国 的 Handen 、Ja:1let 等 人[2] 用石英作 基底研制的 SAw 温度传乏 四,采用 JcL 切型 的石英传志四 测温灵敏度为KH2/C,来用LcT 切型 名英传志四 测温灵敏度为 2kH2/℃。
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