【条纹移相技术在三维表面轮廓测量上的应用研究】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸P.摘要 本论述了一种表面粗糙度的三维非接触测量 方法:条纹移相技术,以及所建立的干涉显微镜 微机检测余统。该系统采用6JA型干涉显微镜产 生干涉条纹,由IBM-PC/XT 微型计算机控制压电 陶瓷驱动器驱动试件,进行干涉争纹移相,再由面陣 CCD固体摄象机摄取干涉条纹图象,经图象米样板 输入微机处理,最后输出三维表面轮廓图和表面粗 糙度各参数值.文中讨论了该检测条统的组成和2作原理,以及 所研制的控制和处理软件。典型试件测试结果表 明,该系统能准确地给出三维较廓图和各种粗糙 度参教值,使一般性能的干涉显微镜改造成为具 有高功能的检测仪器。
浙江大学研究生学位论文用纸P.目录 节一章.绪论 91-1.表面粗度测量技术的发展 多1-2.论文的主要内容及研究的意义 举章.条纹移相测量技术的研究 红-1.免纹移相原理-32-2πT模糊问题及消跳变 -3.数据处理-节三章.表面粗糙度微机检测条统 3-1.检测系统的构成及原理 多3-2.条统的软件没计 四章.测量范围分析和典型试件测量 ≤4-1.测量范围分析 4-2.实验结果-举五章.误差分析 5-1.机械上的漂移和振动 35-2.光源光强不稳定一 -63 多53.光电探测装置淡差 -63 354.
浙江大学研究生学位论文用纸 P》。其表面粗糙发的评定参有六个,即三了轮廓高度 评定参嫩Ra,R,Ry:Ra—轨廊算术平均偏差, Rz 微观不平度十点高度,Ry — 轮廊最大商度.另是根据表面功能需要而附加的评定参Sm,5,本 Sm—斩都微观不平发的平均间距,—轮廊的单峰平均间距,—轮廓支承长笈率.t 般情况下,在测易Ra,Rz,ky时推荐表B和表B2 选用对应的取样长度值.表B Ra的取后长发七与评定长笈七n的选用值 Ra en(ln=5l)(fum) cmm)(mm) ≥0.0 0 0>0.0 0 1.