【静电感应晶闸管的设计及制作工艺探讨】.pdf

浙江大学硕士学位研究生论文浙江大学硕士学位研究生论文研究课题:静电感应晶闸管的设计及互艺探讨

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浙江大学硕土学位研究生论文 -2 -3 -3 一4 -19 -31 -31 -53 -59 -70 -70 -76 -82 -84 缓冲层的扩散实验以及门极、阴极和阳极扩散的计算-39 静电感应晶闸管的物理模型及阻挡增益的理论推导-70 静电感应晶闸管的研究概况- 静电感应晶闸管的基本理论- 静电感应晶闸管的开关机制- 静电感应晶闸管的静态与动态特性静电感应晶闸管的纵向设计反对称型SITH电参数的计算- 静电感应晶闸管的横向设计- 静电感应晶闸管制作的光刻掩膜板的设计- 静电感应晶闸管制作的关键互艺实验- 静电感应晶闸管制作的互艺流程图- 静电感应晶闸管