[静电感应晶闸管的设计及制作工艺探讨]

【静电感应晶闸管的设计及制作工艺探讨】.pdf浙江大学硕士学位研究生论文 浙江大学硕士学位研究生论文 研究课题:静电感应晶闸管的设计及互艺探讨浙江太学殖土研究生论文 This paper presents a new kind ofpowerswitching At first,theswitching echanis,static and dynamic characteristics are analyzed.There are two kinds of SITHS-theplanar grid SITH and the buried grid SITH.In order to speed upits switching speed and improve its blocking gain,scientists desi浙江大学硕土学位研究生论文 -2 -3 -3 一4 -19 -31 -31 -53 -59 -70 -70 -76 -82 -84 缓冲层的扩散实验以及门极、阴极和阳极扩散的计算-39 静电感应晶闸管的物理模型及阻挡增益的理论推导-70 静电感应晶闸管的研究概况- 静电感应晶闸管的基本理论- 静电感应晶闸管的开关机制- 静电感应晶闸管的静态与动态特性 静电感应晶闸管的纵向设计 反对称型SITH电参数的计算- 静电感应晶闸管的横向设计- 静电感应晶闸管制作的光刻掩膜板的设计- 静电感应晶闸管制作的关键互艺实验- 静电感应晶闸管制作的互艺流程图- 静电感应晶闸管
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