【双焦乾涉表面轮廓实时检测的研究】.pdf

浙江大学研究生学位论文用纸P.摘要随着生产的发展,人们走越来走战需要对表面车轮廓及其米粗造度进行实时金测。干涉共模抑制技木是近年发展起来的一种新的干涉测式技术,旨在克服激光振幅噪声极处界干扰对测量结果的影响.采用干涉共模抑制系统的双焦干涉表面轮廓仪是该技术的一个应用,这种车轮摩仪无需参考样板,无需精密导轨结构简单,成本低,可以在一将段的不境条件下对寸高精表面作非接角独车轮廓测量、且具有很高的分判产率。理论上,车轮廓仪的纵向分判产率可达2A,横向分判率率可达1.2um。

浙江大学研究生学位论文用纸P.目录一、前言二.方案确定 92干涉共模抑制技术的根既念及特点 92结构方案确定三.双焦干涉表面轮廓仪 3系统工作理 3双焦透镜参由收的确定 3光信号质量和光电信号质量的保证一 —29 3参考光束宽度的石确定和轮廓仪模向分产辨率一—引多3测量范围R其展宽 -36 3光电车专换及放大电路 S3信号处理多3系统调立式及工作点确定 -50 四.苹果一Ⅱ微机接口84接口硬件 -57 34接口软件 -66 五。据分析处理六.系统性能考核 -77 七.误差分析八.结语九.

浙江大学研究生学位论文用纸P.一前言随着生产和科学技术的发展,人们愈未愈清楚地认识到,表面轮廓的测试及其表面粗糙度表面统计参蚊的确定对许多应用领域来说是非常重要的。例如,在机器和似器制造业中,机戒零件表面粗造与要件的而寸磨十性,疲劳强度,接角虫刚度,配合性质,密封十生,腐蚀十性等均有密切关系,因此零件表面粗粒造度的高低直接影响机器,仪器的使用性能和寿命;在光学仪器行业中,光学要件表面的粗糙度会产生散射光和表面吸收,从而影响光学成象质量;大功率激光器谐振腔的竟面粗糙度会导致高反膜层的烧坏;在电子工业中,薄膜要件和微电子技术中的微细电路的稳定性和可靠性在很大程度上取决于