【射频激励1D73U形CO2波导激光器列阵】.pdf

摘要射频(RF)激励CO2波导列阵激光器是一种新型的激光器,较传统的CO2激光器相比,它具有工作寿命长、转换效率高、结构紧凑、操作安全等优点,因而受到国内外的普遍重视.本文分析了射频放电过程,对任意截面形状的波导列阵的射频激励作了基本理论分析,运用分布电感并联谐振技术,实现了长电极稳定均匀的射频放电,利用阻抗匹配网络,把射频能量有效地耦合到放电激光头上.本课题建立了腔长370mm、1×3U形波导列阵激光器,做了大量实验研究,测定了远场光强分布。经优化频率、混合气体配比、气压等参数,发现实验结果与理论一致。采用耦合间隙技术,获得了13W激光的锁定输出。

目录第一章文献综述-1国际上C02激光器发展概况技术概况市场状况-2国内发展状况.C 1-3本课题的主要工作.第二章CO2激光原理及RF放电理论-1CO2激光器的-般原理 CO2分子的振转能级及其光谱,I1激发过程与弛豫过程、2-2CO2-N2-He-Xe等离子体一般特性 1-般气体放电特性.IICO2激光器等离子体特性.52-3射频放电简介,1RF基础.IRF放电器件的设计要求放电等离子体的等效电路.第三章射频激励的阻抗匹配和激光头的均匀放电技术.53-1概述

第一章文献综述 51-1国际上CO2激光器发晨概况 1技术概况 1964年最早发明了C02激光器,它是由纵向直流放电激励的直径为0.2cm的玻璃管、放电管周围的冷却水套、密封于放电管两端的布儒斯特窗口以及由三个或四个般钢棒相互装接在一起的腔体反射镜组成。这期间,研究和发展工作集中于对CO2激光器基本概念的了解,通过混合气体的最佳化提高其性能以及研制密封式长工作寿命的阴极材料方面。二十多年前已研制出这种密封式C02激光器件,与流动气体激光系统相比,封离器件的运转成本低,设备轻便,使用方便。但由于气体冷却条件不同,对于一定几何结构及尺寸的激光器,封离器件的功率太低[2)。