【软X射线多层膜反射钟的设计制备及检测】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸 P.ABSTRACT The design,fobrication and measurement of the softx-raymultilayermirrorswere presented inthis derign nethod,a(nbisap hinem!suozomfsneren sny ahozond mndues calculationofperformaneesandoptimizationthestructure ofsoftx-tay multilayers involvedfrutors ofextinetion coefficia
浙江大学研宪生学位论文用纸P.目录 ABSTRACT 摘要 第一章 引言 第二章 软射线多层膜反射镜的设计 2绪论 2膜系计算 2膜层设计 第三章.计算机辅助设计软件 3 总论 3 主程序 3 输入.输出模块 3 什模块 3 计算模坎 3 优化模块 3 监控厚度误差模拟模帜 第四章 软线多层膜反射镜的制备 §4 基板处理制备技术 54.
浙江大学研究生学位论文用纸P.第一章 引言 x射线(Sof大-rays)通常指波长为 1.30hm范围 内的电磁辐射波,就发射的电子能量来说,这个范围大致 相当于2keV.40eV,即通常所说的亚囊电子伏波段。波长 更长的是真空外线(EUV),更短的是硬x射线.1895年,德国物理学家Rontgen发现了一种穿透能力很 提出物质波根念,指出x射线与可见光波一样,具有波的 一切特性[2],从而奠定了x射线学说的理论基强。各国科 学家都致力于这一新的技术须域的研充,但由于在该波段,对于任何物质,透过些都很低,且折射率接近于1,因此制造 透镜非常困难。