【光学表面粗糙度非接触式测量研究】.pdf

浙江大学研究生学位论文目录第一章前言 81表面粗糙度测量的意义 81表面粗糙度测量方法概述 1非接触式光学轮仪国内外研究概况和主要论文工作第二章、非接触式光学轮廓仪方案选择 S2引言 2外差型光学轮廓仪 2双焦型光学轮廓仪 2Nomarski微分干涉相衬轮廓仪第三章、Nomarski微分干涉相衬轮廓仪的光学系统 83光学系统的原理/2 83轮廓仪性能参数与结构参数之间的关系 3轮廊仪光学系统实验装置 3其他几种Nomar8ki型微分干涉相衬轮廊仪方案简介第四章、光电探测系统 84光电探测器的选择 84.

浙江大学研究生学位论文摘要非垃结式数车轻部世表而我越及闪交技术本文中讨论了了一种用于车间环境下在线检测高精表面的Nomar8ki微分干涉相衬轮廊仪,纵向分辩率小于一埃,横向分辩率为二微米左右。引入了一个8098单片机系统控制轮廊仪的工作并处理数据,然后将数据送入一个PC 机中进一步处理,输出测量结果。8098系统节约了计算机资源,并增强了仪器的抗干扰能力。在理论研究的基础上作了实验验证。工作表明前景是非常良好的。

浙江大学研究生学位论文 1表面粗糙度测量方法概述测量表面粗糙度的方法多种多样,传统的测量方法是散射法.物体表面的散射特性与其表面粗糙度之间具有一定的关系,因此将这种关系转换成一定的数学模型,只要测量出被测表面在一定条件下的散射特性,再参照这种数学模型,就可以间接地求出被测表面的表面粗糙度。这种方法并不能直接地测量被测表面的微观起伏,用一定的数学模型来间接测量各种各样的被测表面,不可避免的会带来理论误差,因此散射法的精度并不高,不适合现代高精度的表面加工的需要。现代的表面粗糙度测量基本上采用能够高精度定量测量被测表面的微观起伏曲线的轮廓仪形式。