【三维轮廓条纹移相检测系统误差诊断与补偿的研究】.pdf

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浙江大学硕士学位论文 摘 要 本文提出了一种基于干涉条纹移相原理的非接触式表面形貌测量 方法,并建立了干涉显徽镜一微机检测三维轮廓成象系统 该系统主要由干涉显微镜、CCD固体摄象传感器、监视器、图象 米集接口板、D/A接口板、压电陶瓷微位移驱动器以及微型计算机组 成:由微机控制压电陶瓷驱动器驱动压电陶瓷形变,实现干涉条纹的 移相,再由CCD传感器摄取干涉条纹图象,经图象采集接口板将图像 输入微机处理,最后从十涉图象的光强数据中解调出被测对象的相位 分布和表面三维轮廓图,以及表面粗糙度的各参数值。浙江大学硕士研究生论文 -compensation,andalsoshows thesystemhavevitical resolution of 0um,and higher repeatedaccurate(a=0l)and faster veocity.Thesystemuseordinary 6JAtypeinterferometer,Having gotahigherpointonmeasuringaccuracyand technique,and made ita high quantitymeasuring system.浙江大学硕士学位论文P 第一章绪论 81.表面粗糙度测量技术的进展 表面粗糙度[1]是反映零件表面上微观几何形状误差的一个重要 指标,它主要是由于在加工过程中刀具和零件表面之间的摩擦,切屑 分离时塑性变形和金属撕裂,以及工艺系统中存在的高频振动等原因 所形成的。表面粗赞度不包括由于机床几何精度方面的误差等所引起 的表面宏观几何形状误差(如直线度、平面度和圆柱度等),也不包括 在加工过程中由机床、刀具、工具系统的强追振动等所引起的介于宏 观和微观几何形状误差之问的波度。