【石英真空传感器及石英真空计的研制】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸P.要 本论文研制了一种新型的、性能优良的真空传感器,石英 真空传感器。它具有测压范围宽、不易受外界干扰、成本低和 使用性好等特点,其他一些性能也远比传统真空测量器件优越.它的互作原理是利用石英振子谐振阻抗因气体的阻力作用 而随压力变化的特性,因为石英振子有非常高的Q值,所以气 体微小阻力的变化都可以作为振子电阻的变化检测出来.实验表明,我们设计的音叉型石英真空传感器的谐振阻抗 随气压变化非常明显,从10-托到1atm,阻抗变化量.Zo跨 越五个数量级。
36浙江大学研究生学位论文用纸P 录第三章音叉型石英谐振器的设计制造和电参数测试27 目 第二章传感器用振子型式的选择及理论分析 2石英谐振器振动模式和结构形状的选择 2音叉型振子用作真空传感器的理论分析 3音叉石英谐振器的设计 8音叉石英谐振器的制造 3音叉石英谐振器的屯参数测试 4石英谐振器的阻抗特性 6测试内容和测试方法 第一章绪论 1本文背景和意义 1本文工作和成绩 第四章检测电路的设计 4前言.
果与气 体种类 的关系 与气体 钟类无 关 与气体 种类有 P 1-2(托)10-110-210-310-410-510-010-710-810-010-110-1110-1210-1310-14 真空仪表分类及其测范围 范 浙江大学研究生学位论文用纸 表!真空测 表 10109102 求U型管 真空计 油U型管 真空计 压缩式 真空计 热辐射 真空计 弹性式 真空装 膜式 真空计 报膜式 真空计 放电管真 空指示器 电阻式 真空计 热码式 真空计 放能电 离自空计 电 真空计 冷阴极电 离真空计 B-A式电 离真空计 冷极磁 控式电离 真空计 热阴极磁 控式电离 真空计 注:实