【单片连续送料磁控反应离子刻蚀机控制系统的研制】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸P.目录 摘要 第一章绪论 1课题的背景和意义.论文的主要互作第二章MRIE互艺、设备以及自动MRIE机控制 系统总体设计 MRIE机理及其五艺对设备的要求82全自动单片MRIE机的机电一体化结构2全自动单片MRIE机控制系统总体设计2MRIE机控制系统的抗干扰.第三章MRIE机射频阻抗自动匹配系统的研制 83MRIE的射频电源和阻抗匹配网络.83.
浙江大学研究生学位论文用纸P./摘 要 磁控反应离子刻蚀机(MRIE)是满足1微米至亚微米 线宽微细图形加互所需的刻蚀装置。这种装置国外80年代初 才开始研制、生产,目前仍在发展,在微电子加互设备中占重 要地位.本论文完成了全自动单片机连续送料MRIE机整个控制 系统硬、软件设计和系统装配、调试互作。由于MRIE互艺 的复杂性,实现其互艺过程全自动控制是研制高性能MRIE 机的关键和难点之一。本论文根据MRIE互艺功能要求,研 制了一套功能弥散型MRIE多微机自动控制系统,通过四个 模块单片机控制系统的研制以及MRIE机控制系统整机联调,分别实现了以下功能:MRIE互艺过程的自动控
浙江大学研究生学位论文用纸P in the Etching Chamber.Thorough methods have been taken to prevent the electricinterferencetothe control system,8o thewhole control systemshows great8tabilityinthewholeequipment working testsandtheMRIEprocessingexperiments.