【四电极系统P-N结自停止腐蚀技术的研究】.pdf

浙江大学研究生学位论文用纸P.目录摘要—(1-3)第一章引1 言 1-1各向异性腐蚀计时法及存在的问题12各向异性腐蚀自停止技术的重大毒义-—-1了国内外相无况,论文课冠的提出第二章硅在KOH溶液中电化学控制离蚀原理 S21硅在飞H溶液中极化原理一—硅腐蚀及纯化的电位依赖性一第三章恒电位仪原理及研制 31控制电位法-—一32P-n结自停止腐蚀专用恒电位仪的研制-(1十) 第四章实验和结果 41电解池设计S42硅材料电化学工特性的测主S4.

浙江大学研究生学位论文用纸P 摘要沈今,半导体材料如S:和GaAs的微机械加工正在成为重要的半导体技术。采用它可以获得梁.岛.膜.槽等微机戒结构.在工业上,硅微机械加工对于开发廉价的.适于批量生产的高性能传感器有着极大的重要性.各向异性腐蚀作为一种优良的微机械加工方法,在科研和生产中得到广泛应用如果使用传统的时问控制度蚀法,则由于腐蚀速率的变化和初始厚度的差异,得到的膜片厚度不能精确控制。本论文发展了一种四电极系统 P-n结自停止腐蚀技术来解决精密控制膜厚这一问题.第一章讨论了四电极系统 P-n结自停止腐蚀技术的重大意义。

浙江大学研究生学位论文用纸P 第一章引言本章讨论传统的各向异性腐蚀计时法的缺陷,介绍各向异性腐蚀自停止技术的重要意义。展亦有关的国内外研究状况,分析P/P+系统.二电极系统.三电极系统自停止腐蚀技术及其存在的问题.说明本论文课题研究的必要性和重大意义.3小各向异性腐蚀计时法及存在的问题各向异性腐蚀液如KOH水溶液、印W、联氨等对单晶硅(11 0)等晶向的不同腐蚀速率,可以形成各种硅微机械结构,典型的有梁.岛、膜.槽。如图1小所示。利用这些结构可制作力.压力、加速度和流量等各种微传感器,以及谐振和伺服等半导体微传感器。