【硅微机械谐振式硅桥光纤传感器的研究】.pdf

浙江大学研究生学位论文用纸 P Abstract Themicro-mechanicalsiliconresonantopticfibersensorisanovel opticsensor.Themicranechnicalstrueturemaybe.fabricatedina singlecrystalsiliconwaferusingmicromechanicalandantisotropic chemicaletching.

浙江大学研究生学位论文用纸P．3 目录第一章绪论言 1微机械谐振传感器的发展手13微机械谐振光纤佳感器的2作原理及特实 514本文主要研究的内容节=章硅微机械谐振式传感器硅桥 2硅桥制2艺 2硅微机械谐振式传感器系统节章硅微机械谐振式光行传感器的起振机理 3激光束与建作用产生的效应 3硅微机械谐振式光纤传感器的起振机理 3结论节の章硅微机械谐振式光纤传感器硅桥谐振基频计示示36 及分析 4弦的辰动模型 4梁的振动模型 34.水薄极条模型 4长薄极条谐振频率计 4.

浙江大学研究生学位论文用纸P．1 者论多11言现代科学技术的迅猛发展,使人类社会从高度2业化向信息化转变。在信息时代,人类将主要依靠对信息资源的开发及其变换、传输和处理进行社会活动。传感器是感知、获取、检测和转换信息的窗口。可以设想,如果没有高度保真和性能可靠的传感器,既使有再好的传和处理设备也无法发挥作用。因此,传感器是实现信息化时代的主要技术基础.光纤作为一种新兴的光学技术,是如世纪后半期重大发明之一。自1970年美国康宁(Corning？玻瑞公司制成如Bkm的光纤以来,光纤遍信得到广泛的重视和发展,2从实验室研究走向实用化。