[硅微机械谐振式硅桥光纤传感器的研究]

【硅微机械谐振式硅桥光纤传感器的研究】.pdf浙江大学研究生学位论文用纸 P Abstract Themicro-mechanicalsiliconresonantopticfibersensorisanovel opticsensor.Themicranechnicalstrueturemaybe.fabricatedina singlecrystalsiliconwaferusingmicromechanicalandantisotropic chemicaletching.浙江大学研究生学位论文用纸P．3 目录 第一章绪论言 1微机械谐振传感器的发展 手13微机械谐振光纤佳感器的2作原理及特实 514本文主要研究的内容 节=章硅微机械谐振式传感器硅桥 2硅桥制2艺 2硅微机械谐振式传感器系统 节章硅微机械谐振式光行传感器的起振机理 3激光束与建作用产生的效应 3硅微机械谐振式光纤传感器的起振机理 3结论 节の章硅微机械谐振式光纤传感器硅桥谐振基频计示示36 及分析 4弦的辰动模型 4梁的振动模型 34.水薄极条模型 4长薄极条谐振频率计 4.浙江大学研究生学位论文用纸P．1 者论 多11言 现代科学技术的迅猛发展,使人类社会从高 度2业化向信息化转变。在信息时代,人类将主 要依靠对信息资源的开发及其变换、传输和处理 进行社会活动。传感器是感知、获取、检测和转 换信息的窗口。可以设想,如果没有高度保真和 性能可靠的传感器,既使有再好的传和处理 设备也无法发挥作用。因此,传感器是实现信息 化时代的主要技术基础.光纤作为一种新兴的光学技术,是如世纪后 半期重大发明之一。自1970年美国康宁(Corning？玻 瑞公司制成如Bkm的光纤以来,光纤遍信得到 广泛的重视和发展,2从实验室研究走向实用 化。
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