[高精度自动表面光电压测试系统]

【高精度自动表面光电压测试系统】.pdf摘要 表面光电压(SPV)法测试技术研究的新进展使这种经典方法成为现 代微电子工艺诊断的工具,这种光学和电子学结合的测量方法具有其他 方法不可比拟的优越性,同时也带来测量精度和测试速度的问题。计算 机辅助的测试系统具有高精度、高速度的特征,本文探讨采用微计算机 文章在评述国内外和本实验室已有研究成果的基础上,发展了一种 与红外发光二极管光源及相应探测系统相匹配的单片机和PC机协同工作 系统采用当今流行的8031单片机和PC机共同实现对测试的控制和数 据的采集,筛选。distributionin non-illuminated region whichmay introduce the interference,and suggested suitable parameters of the Itis found thatahighertestspeedat anindividual wavelength is anotherimportantfactorforthesystem accuracy.To speedthe test at each single wavelength and the whole measurement,with a fast4-1系统结构设计思路 4-2单片机系统总述 4-3A/D转换电路 4-3-1多路转换器 4-3-2A/D转换器 4-4波段编码电路 4-5步进电机及控制电路 4-5-1步进电机工作原理 84-5-2步进电机控制电路 4-6I/0扩展口4-7串行通信接口系统软件 5-1α和光谱响应度修正系数 5-2测量过程及程序框图 85-3单片机软件设计 5-3-1初始化模块 5-3-2握手联络模块 5-3-3通讯模块 5-3-4步
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