[电子离子光学仪器原理]

【电子离子光学仪器原理】.pdf电子离子光学仪器原理 邵健中编著 017251989邵健中 1988年12月于浙江大学 前 言 本书是根据“电子离子光学仪器原理”教材招标书的要求,利用我自1980年以来在浙江 大学所使用过的电子离子光学仪器讲义和讲稿,参考国内外最新的文献资料编写而成。书稿 于1988年5月由“电子物理与器件”编审委员会确定为中标教材,并于1988年12月审定.电子离子光学仪器是现代科学仪器的一大类型,它包括电子显微镜,电子微探针仪,表 面分析仪器和微细加工机等,是高级精密的科学仪器。仪器的主体部分是利用电子束或离子 束进行观察、分析或加工的镜简,它决定了仪器的技术性能。91995电八极型偏转器场分布、偏转特性和三级像差 电子束光 3像动限制及其克服 习题 参考文献 第四章电子能量分析器 4电子能量分析器的品质因素 4平行板分析器 4筒镜分析器筒形偏转分析器 4球形偏转分析器 4球形阻滞栅分析器其它电分析器 4.
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