【薄膜技术】.pdf

薄膜技术顾培夫编著 011/145/1990

顾培夫 1990年1月于杭州前言薄膜在现代科学技术中的重要性与日俱增。可以毫不夸张地说,各种科学技术离不开薄膜,而且也没有一种别的技术可以取代薄膜。没有薄膜的发展,很难设想许多复杂的、只要已知薄膜材料的特牲,设计满足特定要求的薄膜系统今天已并非难事。们比之下,制造一个特性符合理论设计的薄膜系统却要因难得多。应该肯定,当今薄造技术已经取得了巨大的进展,可我们仍有理由把它描绘成科学与艺术各半的工作,这就是说,我们对薄膜制作技术的认识还有某些不足之处,有时只能依靠技巧来弥补知识的不足,而无法确切地说明其原由。

平而夹具,二、球面夹具.三、族转平面夹具,四、旋转球面夹具一、极值法控制原理,二、极值法控制的典型装置,三、极值法的精度讨论,四、极值一、波长调制法的监控原理和装置,二、波长调侧法的监控精度,三、双色法一一波长一、基本的微观结构特性,二、薄膜生长的计算机模拟.三、薄膜的晶体结构:四、微、光学不稳定性,二、光学捐耗,三、折射率非均匀性,四、抗激光损伤一、光度法:二、阿贝法:三、波导法.