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光学刻划技术论文精选 1991
前言 建国以来,随着光学工业的迅速发展,作为光学加工中特种工艺的刻划技术,经历 了从无到有,从小到大,从易到难的发展过程。有关刻划技术方面的不少论文有的只在专 业会议上宣读而未曾公开出版.有的虽刊登于有关杂志上,但比较分散,不便于查阅,从 而减弱了这些论文的影响力。为了有助于光刻技术的发展,我们编集了这本“精选”.本书取材于全国性多次学术会议的论文,全国一、二级学报的论文,全国性杂志和内 部刊物的文章,是从近200多篇论文中挑选出来的,主要内容涉及刻划、照相及微电子光 刻等方而.收入论文集的稿件,已经过作者仔细修改或作重大修改,为控制稿件宇数和提高质 量,部分论文由审校人员作了删节。
计量光栅光学特性的测试研究 *浙江大学金彤163 检测圆光栅的光电定角比相法.长春光机所十六室检测组167 圆光栅直径误差数字化自动检测 浙江大学沈颂曹向群陈远绳176 圆光栅的检测及数据处理中科院光电研究所吕文松魏爱敏赵安太182 六十进制光电圆分度检验仪的使用效果.