【等离子体离子源物理与技术】科学.pdf

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等离子体离子源物理与技术 〔苏〕M.Ⅱ.葛波维奇著 万春侯等译 杭州目 帐 译者的话 序言 V11 绪论.气体放电离子源发展简述 2.对离子源的要求,离子源的参数 3.离子源设计中出现的主要物理技术问题 第一章等离子体离子源中一些基本过程的简单知识14 51有效截面,平均自由程长度 1电子轰击引起的激发、电离和分子离解 1离子-原子碰撞 §1 负离子的形成和破坏 1 带电粒子的复合,电荷在固体表面上的中和。原子在 表面上的复合在离子轰击下固体表面发生的现象 第二章 等离子体离子源(基本物理过程、结构、性能和参 2等离于体离子源的分类 §2 热阴极离子源 2冷阴极离子源 52高频放电离子源第七章等离子体的振荡特性及它们对等离子体离子源 与中和离子束内各种过程的影响.7离子源中电子束与等离子体的集体相互作用 7不同类型放电中的各种振荡过程和引出离子束的调 制7中和离子束内的集体过程 参考文献
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