【半导体器件制造中的制版技术】天津市科学技术局革委会情报组天津.pdf

毛主席语录我们也要搞人造卫星.人的正确思想是从那里来的？是从天上掉下来的嘴？不是。是自己头脑里固有的？不是。人的正确思想,只能从社会实践中来,只能从社会的生产斗争、阶级斗争和科学实这三项实践中来.中国人民有志气,有能力,一定要在不远的将来,赶上和超过世界先进水平。

第一章照相光学的基本知识第一节透镜成象原理第二节透鏡成象的一般规律第三节透鏡成象的计算公式第四节透鏡的光行差第五节照相镜头及其特性第二章感光材料和冲洗的基本知识第一节感光材料的构造第二节影象的形成过程第三节感光材料的特性第四节显影、定影及其他第三章掩模版的制造第一节原图的制备第二节原图初縮第三节精縮与分步重复第四节复印(生产用版的制造)第五节检查

第一章照相光学的基本知识照相光学贯穿着制版的整个过程。为了便于对制版工艺的理解,我們把照相光学的基本知识做如下簡单的介貂.第一节透镜成象原理一、針孔成象:如果在暗室里点亮一枝蜡烛,放在桌的一头,在桌子另一头竖立一块板,作为光屏,再用一块中間站有小孔的,较大的板,置于中間,这时,光屏上就会出現一个倒立的烛焰的象。为什么会出現倒象呢？根据几何光学原理,烛焰上布满了无数的光点,从每个光点射出来的光,都是直穿过小孔落在光屏上,烛焰上部的光点穿过小孔落在光屏下部,下部的变为上部,左侧变为右侧,右侧变为左侧,这样,无数光的端在光屏上接合起来,便組成了一个倒立的烛焰实象。