[多晶硅及其工艺过程]

【多晶硅及其工艺过程】.pdf毛主席语录 抓革命,促生产,促工作,促战备.自力更生,艰苦奋斗,破除迷信,解放思 想.打破洋框框,走自己工业发展道路.中国人民有志气,有能力,一定要在不远 的将来,赶上和超过世界先进水平.社会的财富是工人、农民和劳动知识分子 自己创造的。只要这些人掌握了自己的命运,又有一条马克思列宁主义的路线,不是回避问 题,而是用积极的态度去解决问题,任何人间 的困难总是可以解决的。在伟大领袖毛主席“备战、备荒、为人民”的伟大战略思想指引下,全国亿 万军民高举“九大”团结胜利的旗帜,狠抓革命,猛促生产,各条战线喜讯频 传。一个工农业生产的新高潮正在全国蓬勃掀起,形势一片大好、越来越好.战斗在化工战线上的广大工人阶级,高举毛泽东思想伟大红旗,活学活用 毛主席著作,坚持“独立自主、自力更生”的方针,“破除迷信,解放思想”,的重要原料一一多晶硅。这为化工战线大搞综合利用开辟了新的途径,为多、快、好、省地发展电子工业作出了贡献。淨化系统中各种催化剂的使用与再生 6.设备材料及安全措施(五)氢还原三氯氢硅和四氯化硅1.氢还原的反应原理2.氢还原过程3.还原设备4.影响氢还原反应的因素 5.发热体(六)尾气回收 41 四、硅烷法制取多晶硅 硅化镁的制备 44(二)硅烷气体的产生(三)硅烷气体的纯化(四)硅烷气体的热分解
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