【半导体器件生产自动化专辑国外集成电路测试自动化】上海科学技术情报研究所上海.pdf

言上海市半导体器件科技情报协作网 1977年4月在以华主席为首的党中央一举粉碎“四人帮”的伟大胜利鼓舞下,在高举毛主席的伟大旗帜,贯彻执行华主席提出的抓纲治国的战略决策,深入揭批“四人帮”,推动工业学大庆群众运动深入开展的大好形势下,为了更好地做好情报资料服务工作,遵照伟大领袖毛主席关于“洋为中用”的教导,我们组织了有关单位编辑了国外半导体器件生产自动化专辑资料,供半导体器件战线的广大工人、技术人员和干部参考.专辑共分四册,包括半导体硅片处理自动化,集成电路光刻制版自动化,集成电路键合自动化和集成电路测试自动化。

分之三十五,西太平洋系统公司占百分之二十五。日本东京精密、安藤电气、国际电气等公司也有这类产品,其中东京精密APM-440 系列水平也较高。为了适应电路大规模集成化的需要,探针台的探针数在不断增加,最多可达九十多个。许多公司为了便于大量生产测试,减少改换测试品种时的换针对针时间,现在采用了固定探针板。最近为了提高自动化程序,采用了激光调准,微型计算机控制、处理,硅片装料器等,大大提高了测试速度,减轻劳动强度。如美国Cobilt公司的OP 4400自动探针台,每天可测试一百片4时的目前除了提高探针台本身的自动化程度外,还在考虑用闭路电视遥控多台探针台,据认为在原有

定位开始零件,有的完全不用继电器等机械部件,因此比较稳定可靠,使用维修方便。自动探针台在测试时,如果出现故障可自动停止和报警,并记下移动的方向,再起动时可按原来方向运动,不会产生误动作。当传感器连续测试几次表明没有硅片时,说明硅片已经测完,可自动停止,并发出报警信号。在中途停止时,有的采用强制制动机构和自动补偿方法,可以保证迅速而准确地停在分步点处。图1为日本东京精密的APM-400系列自动探针台最近用微型计算机控制被认为是实现探针台全自动化的一个重要途径。用微型计算机可以控制而且可以处理测试数据,为下一工段自动化提供方便。