【半导体材料硅超纯硅】上海科学技术情报研究所上海.pdf

毛主席语录 备战、备荒、为人民.中国人民有志气,有能力,一定 要在不远的将来,赶上和超过世界先 进水平.我们不能走世界各国技术发展的 老路,跟在别人后面一步一步地爬行.我们必须打破常规,尽量采用先进技 术,在一个不太长的历史时期内,把 我国建设成为一个社会主义的现代化 的强国。
2.生产实践举例(三)精馏法基本原理 1.精馏是怎样提纯物质的 2.四氯化硅与三氯氢硅精馏提纯 3.从筛板塔流体力学寻求最佳操作点(四)工艺过程和生产操作具体问题讨论 1.精馏操作曲线 2.回流比与流量 3.操作的关馈 4.冷凝器的分离效应5.密闭精馏及补充气体 6.静电效应7.精馏塔的清洗 8.“冷媒”中断怎么办?9.三氯氢硅的安全操作10.精馏效果讨论(五)精馏塔的改革.附录一络合物形成法附录二固体吸附法 附录三部分水解吸附法附录四萃取提纯法第四章还原超纯硅.
前言“春风杨柳万千条,六亿神州尽舜尧。”在鼓足干劲,力争上游,多快好省地建设社会主义总路线的光辉照耀下,奋战在半导体 材料生产第一线的广大革命工人、革命技术人员,高举“鞍钢宪法”的光辉旗帜,坚持突出无 产阶级政治,独立自主、自力更生、艰苦奋斗,为发展我国电子工业作出应有的贡献.在毛泽东思想光辉指引下,我厂半导体工业在三大革命征途上,已经走过了十个年头,这是两个阶级、两条道路、两条路线激烈斗争的十年。广大革命工人紧跟伟大领袖毛主席,冲破了帝、修、反的重重封锁.顶住了大叛徒、大内奸、大工贼刘少奇的“下马妖风,取得了一个又一个胜利。 