[半导体材料硅的生产]·中国工业社版

【半导体材料硅的生产】中国工业.pdf毛主席语录 领导我們事业的核心力量是中国共产党.指导我們思想的理基础是馬克思列宁主义.备战、备荒、为人民.鼓足干劲,力争上游,多快好省地建設社会主义.我們的方針要放在什么基点上？放在自已力量的基点 上,叫做自力更生.社会主义革命和社会主义建,必坚持群众路,放手发动群众,大搞群众运动.打破洋框框,走自已工业发展道路.中国人民有志气,有能力,一定要在不远的将来,赶 上和超过世界先进水平.团結起来,争取更大的胜利！本书介绍了半尊体的基本概念,以及从工业硅生产单品硅的工业方 法。会市共七章,重点介绍园氢化础、三级氢硅氢还原法和硅烷热分解法 制取多晶硅的工艺、设备及振作条件.有增蜗直拉法和无增場区熔法制取 单晶的工艺、设备.井简单阐述了单品硅电学性质的物理检验方法以及生 产中所用原料的规格和要求.半导体材料硅的生产 冶金部北京有色冶金设计院编 只限国内发行 冶金工业部科技情报产品标准研究所书刊组编辑(北京灯市口7号)出版(北京园新路36号)北京市书刊出版业营业许可证出字第110号 第四印别厂印刷 北京各地经售 s/缺页
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