【半导体应变片】.pdf

毛主席语泉中国人民有志气,有能力,一定要在不远的将来,赶上和打破洋框框,走自己工业超过世界先进水平.发展道路。

前言应变片在非电量电测量技术中是作为应力的变换元件,种类较多。以前应变片主要由金属应变电阻丝和应变箔做成各种所需的形状,这些不同形状的应变片,可以对各种机械、土木、建筑、航空、船舶、机车、桥梁、铁路、隧道、矿井等工程结构作静态和动态测量,进行比较复杂的应力分析。对于验证设计理论,检查工程质量,决定正确的设计方案,合理地选用原材料和进行科学研究具有重要的意义。丝式和箔式应变片的灵敏系数低(其K值只有2.2,输出电平小,并且需要设置昂贵复杂的电子仪器(如应变仪、放大器等),才能进行测随着科学技术的发展,在1954年发现了半导体硅和锗的张力灵敏系数比金属应变片的灵敏系数大5

9-15-17 17目录 1.杂质浓度与应变灵敏系数的关系及其对温度稳定性的影响3 2.材料电阻率及晶面选择对应变片特性的影响第一章半导体应变片一、半导体应变片的作用原理二、设计半导体应变片应考虑的几个因素 3.半导体应变片的视应变三、p型硅半导体应变片的基本特性 1.灵敏系数 2.灵敏度温度系数 3.视应变.蠕变 5.机械滞后 6.疲劳寿命 7.电阻变化与应变的关系第二章半导体应变片的制造工艺一、硅片的制造 1.切片、磨片 2.