[集成电路名词术语解释]·科学社版

【集成电路名词术语解释】科学.pdf毛主席语录 社会实践的继续,使人们在实践中引起感觉 和印象的东西反复了多次,于是在人们的脑子里 生起了一个认识过程中的突变(即飞跃),产生了 我们必须打破常规,尽量采用先进技术,在 一个不太长的历史时期内,把我国建设成为一个 社会主义的现代化的强国.概念。各地经售/8 字数:60000 集成电路名词术语解释 出版 北京朝阳门内大街137号 北京市书刊出版业营业许可证出字第061号 版 统一书号:15031273 本社书号:362515-7.9-14二、制造工艺 片 基 扩散、蒸发和溅射 电子束蒸发(淀积)法 光刻技术 机进行设计 基片,衬底 片 单 圆 片 阵 列 多单元法 微矩阵法 母片法 扩散电阻 扩散致窄电阻 掺金,金扩散 埋 层 眞空蒸发法 溅 薄膜电阻 光刻法 刻 光 光致抗蚀剂 拖 拖模原图 目 2 2 2 2 2+4 4 5 5 5 6 7 8 8 8 一、总类 微型结构 微型组件 组件 混合微型结构 分立元器件 分子电子学 功能器件 功能块 系统 分
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