【真空技术与设备】上海科学技术编译馆出版.pdf

目录 1.高具空蒸气泵物理舒述2.扩散泵的发展3.加板系統中的返流.喷口設計对油扩散泵返流率影响的实研究5.油扩散泵中的反扩散.6.标准小孔在校准真空规中的运用.罗茨泵(設計与特性)8.机械增压具空泵的最近发展.超高真空速續蒸发装置的构成和眞空特性.高稳定性自动薄膜真空沉积系統.

用水蒸气产生眞空的方法,即水蒸气喷射,是在上世紀发明的,它与水射泵*相似。这个方法已成为工业上及实驗上所实用的方法.由于对水蒸气及水喷射泵的工作原理缺少了解,因而有认为这种設备不适用于产生很低压强的法。这些法认为水蒸气喷射泵是在大气压强下进行工作的,不可能期望在进、出口之開能雜持很大的压力差。且当出口压强降低时,射流就散布开来,因而大大地阻碍了气体进入射流。然而,不很强烈的射流能在较低的压强下进行工作,增加扩散器的尺寸可以消除任何蒸气散布的不良影响,这样可得到更大的抽速。由这一点可见,問题是簡单的。

P,P,及Pu,P,各为气体及水銀蒸气在容器中及泵中的分压强。考虑从泵到冷阱的蒸气流,并应用流体动力学理,該德获得了下列关系式:760Dlog(P/P) Pu+P=P+P+-[+)1 其中为連接管牛径,为管壁摩擦系数,为粘滞系数,D为扩散系数.此式指出,泵中的及容器中的总压强差依于压强范圍以及連接管的牛径。在低压范國内以及当r较小时,上式中的后一项相当可观,故在泵中的总压强(P+P)要比容器中的总压强(P+P)为高。这一結果,在眞空技术的发展中证实有重要的价值,它指出了,气流是由分压强的压力梯度支配,而丼非由总压强支配。