【半导体材料的制备】人民邮电.pdf

1959年6月五校半导体科学研究跃进战斗团序这里所提供的资料,是去年五校联合半导体专門化的师生在“十一”献礼科学跃进运动中,所做出的一部分工作成果.这些工作主要是缺乏經的青年学生和青年教师做的.他們在党的领导下,发揚冲天的干劲和敢想、敢做的精神,在短短不到两个月的时間中,从无到有地做起来的。在这样极短时間中所获得的結果,当然还谈不上是成熟的科学經,要把这些工作进一步做好,把宅們放在完全确切可靠的科学基础上,还需要做許多更深入的工作。根据各方面的意見,我們把这些极初步的資料付印,以便交流經驗。我們在工作中深深感到經驗资料的不足,迫切期望各兄弟单位間能够广泛交流經驗。

籍的区域提在牛导体材料中,是很基本的一种,而如何获得高純度的,对制造晶体管有很大意义。要制好晶体管,就要能够控制所用半导体材料的电导率与少数戴流子寿命,这首先要求有超高純的原材料,然后經过加掺杂質来控制电导率。晶体管工作对的純度的要求是很高的,10°分之一的杂質含量就能对器件的性能有所影响。电阻率为30欧姆-厘米以上的才能保拉出所要求的电阻率的单晶。由化学提純所得到的远远不能滿足这个要求,但是用近年来所发展起来的区域提純方法,进行区域提純所根据的原理是:当从液态中凝固出一部分固态时,这一部分固态中所含的杂質浓度,对大多数种类的杂質講,通常比在液态中来得低,这正如冰从海水

橡皮垫圈及塗上空封油(阿皮采油),以防漏气(图3)2.高感应爐:包石英舟石墨舟图2石墨舟与石英舟的配合若能有尺寸大些的更好。石英舟的制法是取一段石英管对半锯光譜純石墨舟:石墨舟的作用是由于它的电阻率小(相对于牛导体),可以弥补电阻率大的缺点,帮助熔化。若不采用高感应加热,也可以不用石墨舟。我們没有光譜純石墨,所用的石墨經光譜定性分析含有大量Si,少量Cu、Ag、Se、Al、属封盖(一般用制)封住,我們是用玻璃套子(这样比较經济也容易制造,但不知对粗石英管是否合用)。