【电子束加工及其装置】.pdf

一机部电器科学研究院一机部技术情报所 1965年4月前言电子束的应用愈来愈广泛。早在1904年就发明了二极翼空管,作为整流与检波用,之后,随着科学与技术的发展,不断出现各种各样的电子管。但电子京的应用早已超出了电子管的范围,而成为各种专用装置,如电子显微镜,电子探针微量分析仪,电子加速器等等。近十年来,又发展成为制造工艺用的新的电子束装置,如电子束精密加工装量(钻、铁、切削等),电子束焊接装留,电子束熔炼装置,电子束蒸发装置等等,扩展了现有工艺装置所不能胜任的工作,大大提高了制造工艺质量与技术水平,对国防工业和尖瑞产品这些新兴的工业用的电子束装瞪虽然由于用途和要求不同,各有其

G.LiebmannG.LiebmannG.Liebmann G.Liebmann E.Dwrand T.Mulvcy(P.Durardeau,C.Fert 金谷光一 R.Pepinsky,P.Jarmotz A.StrojnikT.E.Price 栋方忠朝田中光一 HyeKo A.Bpon G.Liebmann,E.M.GradM.

遗入深度(微米)0 0 2 4制工件表面的温升,单个脉冲的宽度可控制束周围材料由于热传导而受热的面积。若用很窄的脉冲(1微秒或更短),加热面积就限于束本身的面积内,若用宽豚冲,受热面积就要比束尺寸大許多,在有些应用中,这一点很重要,因为束四周的材料实际上虽然不迁走,但結构会发生不希望有的变化从上述可以证明,电子束技术的优点之一是整个加工过程有高控制性,这也有利于它的自动化,目前加工过程当电子束冲击工件表面时,随着电子的受阻减速,其动能大部分变成热成,部分能量捐耗于二次电子发射、X辐射(如光)或被弹性散射的电子带走。