【微型元件】上海仪表电讯工业局技术情报所.pdf

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微型元件 Pyrex、Nonex和Vycor玻璃的主要组成和性能 仅供参考 内部资料 淀积薄膜无源元件用的基板 制造实驗用蒸发样板的简單方法 SiO薄膜电容器 空淀积金属膜电阻器 眞空淀积镍路合金薄膜 溅射薄膜的性质 眞空蒸发参数对绪薄膜結构、电气和光学性能的影响 介质薄膜中的应力 薄膜元件上机械应力的研究 薄膜厚度和表面平整度的測量方法 用电子探头測量薄膜的厚度和成份 蒸发一氧化硅超緣薄膜用的控抗化学性能 劣 中 良 良 良 良 导 率 热 [卡秒厘米0] 300℃ 25°℃ 0 0 0 0 0 0 更能满足薄膜电路基板要求的玻璃。表1中最后两 种就是这样的玻璃。正如表中所示,获得了改善的 特性主要是:变形温度,电阻率,能 与多种薄膜材料匹配的热膨胀系数,抗化学性 能。这两种玻璃是无碱玻璃,而前四种玻璃中仅有 350℃时的 对数电阻 5 6 6性能又好,同时抗化学性能也极佳。此外,它可以 制成多种形状,而且加工精度相当高。Microminiaturization”,1962年(第1 成本费 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0(下接20页)4.在一块基板上淀积若干相同的元件,元件 的性能显然也是相同的。在某些情况下,可以利用 这一特点来减少寿命公差的幅度,于是,在不增加 5.一种给定薄膜材料的特性与其基板密切相 关。在许多情况下,如果材料的匹配问题已经解决,则可通过改善生产工艺来改进薄膜元件的性能。设 计可靠性高、成本低的薄膜电路时,薄膜材料与其 参考文献 [1] A.P.Stern,“Pro.