【真空镀膜技术】.pdf
眞空镀膜技术 L郝兰著 林树嘉課 國防工草名版社
25皇家学会会员托兰斯基教授1 目录 油及水银扩散泵的应用.油扩散泵的特性.低压时的抽气率:湿度对抽气率的效应.剩余 空备的染污.慕汽压.膜层在增塑的材料上的形成率.低挪发性的增塑剂.高电抗变压器.交流及直流辉光放电.耀光放电的控制.电极材料.离子要击电极设計.空润及油蒸汽板.空計.岚空封接:安全装.大气的成分.生产高度淀积膜用的可烘烯的蒸发设备.空蒸发設备設計.增压蒸汽泵:轉动膜用的除气备的改計.干操剂捕集器.抽可凝結的气体技术.气续.油的汽提.4.
导论.金属化的的要求.待蒸发的金属的选.金属化的电容器的使用及收寿命.冰品石膜.烘烤的氟化及氯化钙膜.蒸发率及蒸汽散射的效应.氟化度.氟化淀 球形透鲶夹具.生产散备:膜层厚度的控制.在前面懿上淀积电介质膜.复加热絲塔形头.反射比取决于度.铭膜的反射比及透射比与银膜的相比校.紫外反射比.表面突起的影响.低落汽入射角.高蒸汽入射角.粒状构的成长.衬底表面饰的影响。 