【芯片制造半导体工艺制程实用教程】.pdf

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芯片制造 半导体工艺制程实用教程(第四版)MicrochipFabrication:A Practical Guide to Semiconductor Processing Fourth Edition [美]PeterVanZant著 赵树武朱践知于世恩等译 TN305 CS1 PublishingHouse ofElectronicsIndustry 北京BEIJING 000001619880 国外电子与通信教材系列中国工程院院土、清华大学教授“国外电子与通信教材系列”出版委员会主任 序 2001年7月间,的领导同志邀请各高校十几位通信领域方面的老师,商量引进 国外教材问题。提出的计划十分赞同,大家认为,这对我国通信事业、特别是对 教材建设是高校教学建设的主要内容之一。编写、出版一本好的教材,意味着开设了一门好的 课程,甚至可能预示着一个崭新学科的诞生。20世纪40年代MIT林肯实验室出版的一套28本雷 我国领导部门对教材建设一直非常重视。20世纪80年代,在原教委教材编审委员会的领导下,汇集了高等院校几百位富有教学经验的专家,编写、出版了一大批教材.教材出版委员会 总参通信部副部长,中国电子学会会士、副理事长 清华大学教授、博士生导师、电子工程系副主任、通信与微波研究所所长 教育部电子信息科学与工程类专业教学指导分委员会委员 教育部电子信息与电气学科教学指导委员会委员 东南大学教授、博士生导师、移动通信国家重点实验室主任 教育部电子信息科学与工程类专业教学指导分委员会委员 计算机与信息技术学院院长、信息科学研究所所长 北京航空航天大学教授、博士生导师、电子信息工程学院院长 教育部电子信息科学与电气信息类基础课程教学指导分委员会委员 教育部电子信息与电气学科教学指导委员会委员 西安交通大学副校长、教授、博士生导师、电子与信息工程学院
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