【真空设计手册】下集.pdf

7006:1 真空设计手册(下册) 《真空设计手册》编写组编著

前言《真空设计手册》分上、下两册。上册的主要内容是真空获得和真空工程方面确公式、数据和图表,可供广天真空工程技术人员在设计真空系统时参考。下册的主要内容是宾空测量、质谱分析、检漏、材料和工艺,拟为真空工程技术人员提供一些必要的技术知识.本手册的。上册编者为肖祥正(第一章和附表)、刘玉魁(第:、九中管)、谈治信(第三、四管)、刘正薄(第四章)、混遂先(第五、六、七、八、个管)五同志。下册编者为季旺至(第十-章)、胡炳森(第十二章)、范垂祯(第十三章)高本辉和薛大同(第十四章)、许启普(第十五管)六同志.手册从开始编写到定稿,得到许多兄弟单位和同志的支持。

(六)射频质谱计(三)放电管法与高频火花检漏器147(七)线振质谱计(静电质谱计)(四)真空规检漏法(八)四极滤质器(四极质谱计)1.热传导真空规法(儿)单极质谱计 2.电离真空规法(十)三维四极离子阱 3.差动真空规法 9 4.热传导真空规、电离真空规及差动真空四、真空质谱计的离子检测器规法的检漏灵敏度电测法离子检测器的分类 5.具有冷吸附阱的真空规检漏器./15(二)法拉第简 6.扫描方向规检漏/52 7.其它方法(五)氢-钯法 1.