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半导体化学原理李家值编著

i.言序作为一门现代科学技术,半导体技术是技术性很强的学科,也是综合性很强的学科,半导体技术的发展不仅与近代物理学、数学、无线电电子学、电子计算机以及空间技术的迅速发展有着密切的联系,而且也与化学学科息息相关。半导体技术涉及到无机化学、有机化学、物理化学、高分子化学、结晶化学、络合物化学、放射化学以及分析化学等许多领域的理随着现代科学技术的迅速发展,对半导体器件及集成电路产品的性能、质量将提出愈来愈高的要求,而在半导体技术中,新材料的制备、新器件的出现、新工艺的探索等几乎都离不开化学知识.

314iii 目第一节半导体材料概述一、绝缘体、半导体和导体二、半导体材料的种类第二节硅的性质和高纯硅制备的化学原理一、硅的物理、化学性质二、高纯硅制备的化学原理第三节锗的性质及高纯锗制备的化学原理一、锗的物理、化学性质二、高纯锗制备的化学原理第四节砷化家的性质和砷化家合成的原理一、砷化家的物理、化学性质二、砷化合成的原理第二章清洗工艺中的化学原理第一节硅片表面清洗的重要性第二节硅片表面可能沾污的杂质第三节清洗工艺中的化学原理一、化学清洗法的去