[半导体化学原理]·科学社版

【半导体化学原理】科学.pdf半导体化学原理 李家值编著i.言 序 作为一门现代科学技术,半导体技术是技术性很强的学 科,也是综合性很强的学科,半导体技术的发展不仅与近代 物理学、数学、无线电电子学、电子计算机以及空间技术的迅 速发展有着密切的联系,而且也与化学学科息息相关。半导 体技术涉及到无机化学、有机化学、物理化学、高分子化学、结 晶化学、络合物化学、放射化学以及分析化学等许多领域的理 随着现代科学技术的迅速发展,对半导体器件及集成电 路产品的性能、质量将提出愈来愈高的要求,而在半导体技术 中,新材料的制备、新器件的出现、新工艺的探索等几乎都离 不开化学知识.314iii 目 第一节半导体材料概述 一、绝缘体、半导体和导体 二、半导体材料的种类 第二节硅的性质和高纯硅制备的化学原理 一、硅的物理、化学性质 二、高纯硅制备的化学原理 第三节锗的性质及高纯锗制备的化学原理 一、锗的物理、化学性质 二、高纯锗制备的化学原理 第四节砷化家的性质和砷化家合成的原理 一、砷化家的物理、化学性质 二、砷化合成的原理 第二章清洗工艺中的化学原理 第一节硅片表面清洗的重要性 第二节硅片表面可能沾污的杂质 第三节清洗工艺中的化学原理 一、化学清洗法的去
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