【薄膜工艺】科学.pdf
毛主席语录 中国人民有志气,有能力,一定 要在不远的将来,赶上和超过世界先 进水平.我们的方针要放在什么基点上？放在自己力量的基点上,叫做自力更 生.我们不能走世界各国技术发展的 老路,跟在别人后面一步一步地爬行.我们必须打破常规,尽量采用先进技 术,在一个不太长的历史时期内,把我 国建设成为一个社会主义的现代化的 强国。
集成电路技术的迅速发展,使薄膜工艺在电子技术上的作用日益重 要.本书比较系统地介绍薄膜制作的工艺和理论,以及在电子技术上的 应用。本书共分十二章,内容包括蒸发薄膜、溅射薄膜、制作薄膜的化学 方法、金属导电性、电阻和导体材料、电容器材料、基片、图案制作、元器 件和电路设计、引线连接,以及薄膜电路大量生产用设备等.本书可供从事电子技术和半导体专业的工人和技术人员参考.本书根据Thin Film Technology(Robert W.Berry,Peter M.Hall,Murray T.Harris,Bell Telephone Lab.Series,1968) i译出。
缺页