【半导体光刻制版技术交流会资料汇编】.pdf

毛主席器录领导我们事业的核心力量是中国共产党.指导我们思想的理论基础是马克思列宁主义.中国人民有志气,有能力,一定要在不远的将来,赶上和超过世界先进水平.团结起来,争取更大的胜利。

目录光刻部分毛泽东思想使我们摆脱了光刻工序中常见的脱胶现象北京综合元件厂 421光刻会战小组思想小结上海元件五厂超高频低噪声晶体管光刻工艺实验天津半导体器件厂硅高频低噪声管细线条光刻工艺小结北京电子管厂光刻细线条工艺小结.上海元件五厂 1 光刻工艺点南京晶体管厂场效应晶体管光刻中的一些体会.上海无线电十四厂 400兆系列晶体管光刻工艺小结天津半导体器件厂 50W低频大功率高反压管光刻工艺上海光明电器厂硅低频大功率管光刻工艺过程中的几点初浅体会南京金星标牌厂谈谈我厂的光刻工艺.

毛泽东思想使我们摆脱了光刻工序中常见的脱胶现象光刻是三极管制造工艺中比较主要的工序,光刻质量的好坏对三极管的影响很大。比如:一个小小的针孔就会影响管子的性能,还会影响硼、磷扩散的正常进行,尤其是此工序中常见的脱胶现象对整个三极管的制造影响更大,它能使我们辛辛苦苦做过的片子整个或整批报废,给我们整个生产线带来重大的损失,使我们不能很好的完成党交给我们的生产任务。因此,如何解决光刻工序中存在的脱胶现象,历来是光刻工序急待解决的生产实际问题.在生产分析会上,我们认真学习毛主席著作,从中吸取营养,决心从多方面找原因。